半導體高低溫測試冷水機系列產品

　　半導體高低溫測試冷水機（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的準確控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產過程中的溫控設備。

　　半導體高低溫測試冷水機控溫精度優(yōu)于±0.3℃，可在-85℃～250℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性；

　　半導體高低溫測試冷水機具有故障自診斷功能，當設備出現故障時及時報警并顯示在觸摸屏上；

　　半導體高低溫測試冷水機全密閉管道式設計，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫時會自動補充導熱介質；

　　西門子 S7-1200PLC，模糊PID控制算法，具備串級控制算法，導熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設定可控制；

　　半導體高低溫測試冷水機主要應用于半導體行業(yè)、醫(yī)療制藥行業(yè)、LED/LCD器件制造行業(yè)、航天航空領域、裝備制造行業(yè)等。