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半導體高低溫測試冷水機系列產品

 更新時間:2022-11-23 點擊量:1307

  半導體高低溫測試冷水機(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的準確控制,主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置,屬于生產過程中的溫控設備。

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  半導體高低溫測試冷水機控溫精度優于±0.3℃,可在-85℃~250℃任意工況切換,具有良好的溫度跟隨性;

  半導體高低溫測試冷水機具有故障自診斷功能,當設備出現故障時及時報警并顯示在觸摸屏上;

  半導體高低溫測試冷水機全密閉管道式設計,高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫時會自動補充導熱介質;

  西門子 S7-1200PLC,模糊PID控制算法,具備串級控制算法,導熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設定可控制;

  半導體高低溫測試冷水機主要應用于半導體行業、醫療制藥行業、LED/LCD器件制造行業、航天航空領域、裝備制造行業等。


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