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半導(dǎo)體高低溫測試冷水機系列產(chǎn)品

 更新時間:2022-11-23 點擊量:1309

  半導(dǎo)體高低溫測試冷水機(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的準確控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。

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  半導(dǎo)體高低溫測試冷水機控溫精度優(yōu)于±0.3℃,可在-85℃~250℃任意工況切換,具有良好的溫度跟隨性;

  半導(dǎo)體高低溫測試冷水機具有故障自診斷功能,當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時及時報警并顯示在觸摸屏上;

  半導(dǎo)體高低溫測試冷水機全密閉管道式設(shè)計,高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫時會自動補充導(dǎo)熱介質(zhì);

  西門子 S7-1200PLC,模糊PID控制算法,具備串級控制算法,導(dǎo)熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制;

  半導(dǎo)體高低溫測試冷水機主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、醫(yī)療制藥行業(yè)、LED/LCD器件制造行業(yè)、航天航空領(lǐng)域、裝備制造行業(yè)等。


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