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過(guò)程冷卻設(shè)備Chiller主要應(yīng)用以及特點(diǎn)

 更新時(shí)間:2022-11-23 點(diǎn)擊量:1429

  在元器件行業(yè)中,半導(dǎo)體、芯片的要求比較高,過(guò)程冷卻設(shè)備Chiller可以測(cè)試在不同環(huán)境下元器件的性能狀況,還有一個(gè)是在封裝組裝生產(chǎn)下不同的溫度測(cè)試以及其他性能測(cè)試,避免產(chǎn)品投放市場(chǎng)面對(duì)不同使用環(huán)境,導(dǎo)致電子元器件不可用。


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  無(wú)錫冠亞研發(fā)的半導(dǎo)體半導(dǎo)體專用溫控裝置也稱為過(guò)程冷卻設(shè)備Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的準(zhǔn)確控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。

  過(guò)程冷卻設(shè)備Chiller控溫精度優(yōu)于±0.3℃,可在-85℃~250℃任意工況切換,具有良好的溫度跟隨性;設(shè)備具有故障自診斷功能,當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)及時(shí)報(bào)警并顯示在觸摸屏上;全密閉管道式設(shè)計(jì),模糊PID控制算法,具備串級(jí)控制算法,導(dǎo)熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制。

  過(guò)程冷卻設(shè)備Chiller主要應(yīng)用在芯片的溫度沖擊和溫度循環(huán)測(cè)試,芯片的高低溫循環(huán)測(cè)試,疲勞失效測(cè)試,芯片、模塊、集成電路、電子元器件等性能測(cè)試,可靠性分析等。


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