無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專(zhuān)?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域。

【 冠亞制冷 】半導(dǎo)體行業(yè)主營(yíng)控溫產(chǎn)品：

半導(dǎo)體專(zhuān)溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)

半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測(cè)試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測(cè)試機(jī)

快速溫變控溫卡盤(pán)

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案

邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷

邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷

半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)室的溫度。半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)和工藝?yán)鋮s水的熱交換原理通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行控制，以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求，是集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備。

半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備（Chiller）依據(jù)不同工藝制程要求控制給定溫度的循環(huán)液流經(jīng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)，將熱量帶入半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備，半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備通過(guò)熱交換器將熱量傳遞給制冷劑，再通過(guò)制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝制程的溫度控制。