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光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些

簡(jiǎn)要描述:元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些

  • 產(chǎn)品型號(hào):AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-01-13
  • 訪  問(wèn)  量:2970
詳情介紹
品牌LNEYA/無(wú)錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價(jià)格區(qū)間5萬(wàn)-10萬(wàn)產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
儀器種類(lèi)一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號(hào)AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些

光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些

  為確保光刻機(jī)用冷水機(jī)組的靠譜及正常運(yùn)行,防止不適當(dāng)?shù)乃涔苈肥┕ぴ斐傻睦渌畽C(jī)故障,安裝本機(jī)組時(shí)應(yīng)注意下列事項(xiàng):

  光刻機(jī)用冷水機(jī)組的電源注意事項(xiàng)

  1光刻機(jī)用冷水機(jī)組電源采用三相四線、電源線接電源火線,接零線,(G)接地線。

  2光刻機(jī)用冷水機(jī)組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內(nèi)接柱上,保證連接緊固。

  3機(jī)組配電要求:主電源電壓:額定電壓范圍以內(nèi)。

  4主電源電壓波動(dòng)超過(guò)規(guī)定范圍時(shí),不準(zhǔn)起動(dòng)冷水機(jī)、否則視作操作不當(dāng),由此引起的損壞不在本公司保養(yǎng)范圍之內(nèi)。

  5水系統(tǒng)之水流開(kāi)關(guān)、水泵、冷卻水塔電機(jī)等聯(lián)鎖電路必要時(shí)可正確連接在機(jī)組控制電路中。

  6光刻機(jī)用冷水機(jī)組設(shè)有電流過(guò)載保護(hù)、壓縮機(jī)排氣端之高低壓保護(hù),馬達(dá)線圈過(guò)熱保護(hù)、防冰保護(hù),冷卻水之水流連鎖保護(hù)等多種措施,切勿擅自改動(dòng)、如需改動(dòng)請(qǐng)與廠家聯(lián)絡(luò)。

  光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝注意事項(xiàng)

  1吊運(yùn)安裝光刻機(jī)用冷水機(jī)組時(shí)注意不要損壞機(jī)組,合理布局光刻機(jī)用冷水機(jī)組周?chē)臻g,以方便維修保養(yǎng)光刻機(jī)用冷水機(jī)組。

  2按照對(duì)配管系統(tǒng)設(shè)計(jì)及施工安裝的要求,合理設(shè)計(jì)和安裝凍水及冷卻水系統(tǒng),以充分發(fā)揮光刻機(jī)用冷水機(jī)組性能。

  3機(jī)組應(yīng)水平放置,及安裝在通風(fēng)位置。

  4根據(jù)機(jī)組制冷能力選用匹配的冷卻塔。

  5機(jī)組配管請(qǐng)參照本公司建議之配管方法安裝施工。

  6水源及散熱水塔周?chē)h(huán)境惡劣時(shí),冷凍水和冷卻水回路安裝Y型過(guò)濾器及定時(shí)清理,封閉冷凍水系統(tǒng)高處安裝自動(dòng)排氣閥、系統(tǒng)低處安裝排水接頭,以系統(tǒng)排水用。

7冷凍水管路系統(tǒng)通過(guò)試漏后,包保溫層,避免冷量散失及管路滴水。

 

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