光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

　　在光刻機用冷水機中，閥門的主要功能是控制制冷劑的流量和方向。在日常使用中，經常使用閥門。當行業冷水機需要停止或打開時，需要使用閥門。由于其日常使用頻率很高，因此在安裝過程中應多加注意，以確保其正常使用而不會影響工業的穩定性冷水機。

　　1.閥門應安裝在易于拆卸和維護的地方。在安裝各種閥門時，請注意制冷劑的流動方向，不要以相反的方向安裝它們。

　　2.安裝光刻機用冷水機的法蘭閥時，須在法蘭板和閥法蘭上加高壓石棉板，并根據閥門上法蘭槽的深度確定高壓石棉板的厚度。當閥門較大而槽較深時，應使用較厚的石棉板，以免它們之間的凹凸面界面容易留有間隙且密封不緊密。組裝法蘭閥時，請確保所有螺栓受力均勻，否則，凹凸面容易產生偏斜。

　　3.截止閥的安裝應使工作流體從閥的??底部流到上部。在水平管道上安裝時，閥桿應垂直向上或傾斜一定角度，并且閥桿不得向下。如果閥門位置難以接近或過高，可以將閥桿水平安裝以方便操作。

　　4.在為光刻機用冷水機安裝止回閥時，閥芯應能夠自動打開。對于提升止回閥，閥芯的線和水平面應相互垂直。對于旋啟式止回閥，應確保閥芯板的旋轉，并且閥芯板須水平安裝。

　　5.靠譜閥應直接安裝在設備出口的截止閥上，閥體上的箭頭應與工作介質的流向一致。

　　6.電磁閥須水平安裝在設備的出口處，并位于定的位置。

7.光刻機用冷水機中的熱力膨脹閥也須水平安裝。