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熱流儀(Thermal System)提升產品可靠性測試效率的技術路徑

 更新時間:2025-03-24 點擊量:800

  高低溫氣流溫度沖擊系統滿足半導體、航天等多場景需求,冠亞恒溫高低溫氣流溫度沖擊系統AES系列在原有配置的基礎上還能接受定制,滿足客戶需求。

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  一、技術發展趨勢

  1. 溫控性能突破

  更寬溫域:從傳統-55~300℃擴展至-100~500℃,支持半導體(SiCGaN)與超導材料測試。

  更快溫變速率:制冷技術推動溫變速率適配3D封裝芯片的瞬時熱應力模擬。

  納米級控溫精度:基于量子傳感器與AI動態補償算法,控溫精度滿足制程芯片的原子級熱分析需求。

  2. 多物理場耦合測試

  復合環境模擬:集成振動、濕度、真空模塊,滿足車規級芯片與航天器件的多維度可靠性驗證。

  原位分析技術:結合拉曼光譜、X射線衍射,實時觀測材料熱變形與微觀結構演變。

  2. 模塊化與微型化設計

  芯片級測試設備:微型熱流罩支持晶圓級在線測試,成本降低。

  可擴展架構:通過更換模塊適配不同溫域與功能(如添加輻射加熱或濕度控制)。

  二、半導體行業應用案例

  13D IC封裝熱應力測試

  需求:驗證TSV(硅通孔)與混合鍵合結構在-55~150℃循環下的可靠性。

  方案:熱流儀以80/min速率完成溫度循環,同步監測電阻與形變數據。

  2、車規芯片認證

  需求:滿足-40~150℃溫度循環、濕熱老化等嚴苛測試。

  方案:多工位熱流罩并行測試8ECU,溫變速率50/min,濕度精度±2%RH

  3GaN功率器件熱阻優化

  需求:降低GaN HEMT器件的結到外殼熱阻,提升散熱效率。

  方案:熱流儀結合紅外熱成像,定位熱點并優化封裝結構。

  4Chiplet異構集成驗證

  需求:驗證多芯片模塊(MCM)在嚴苛溫度下的信號完整性。

  方案:熱流儀在-65~125℃下同步施加高頻信號,監測延時與誤碼率。

  5、制程芯片(2nm)電遷移測試

  需求:評估銅互連線在高溫與高電流密度下的壽命。

  方案:熱流儀以±0.1℃精度控溫,結合四探針法實時測量電阻漂移。

  高低溫氣流溫度沖擊系統其技術突破與半導體行業的準確化、集成化需求深度耦合。冠亞恒溫等企業正通過持續創新,為全球客戶提供更準確的可靠性測試解決方案。


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