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熱流儀(Thermal System)提升產(chǎn)品可靠性測(cè)試效率的技術(shù)路徑

 更新時(shí)間:2025-03-24 點(diǎn)擊量:561

  高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)滿足半導(dǎo)體、航天等多場(chǎng)景需求,冠亞恒溫高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)AES系列在原有配置的基礎(chǔ)上還能接受定制,滿足客戶需求。

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  一、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

  1. 溫控性能突破

  更寬溫域:從傳統(tǒng)-55~300℃擴(kuò)展至-100~500℃,支持半導(dǎo)體(SiCGaN)與超導(dǎo)材料測(cè)試。

  更快溫變速率:制冷技術(shù)推動(dòng)溫變速率適配3D封裝芯片的瞬時(shí)熱應(yīng)力模擬。

  納米級(jí)控溫精度:基于量子傳感器與AI動(dòng)態(tài)補(bǔ)償算法,控溫精度滿足制程芯片的原子級(jí)熱分析需求。

  2. 多物理場(chǎng)耦合測(cè)試

  復(fù)合環(huán)境模擬:集成振動(dòng)、濕度、真空模塊,滿足車規(guī)級(jí)芯片與航天器件的多維度可靠性驗(yàn)證。

  原位分析技術(shù):結(jié)合拉曼光譜、X射線衍射,實(shí)時(shí)觀測(cè)材料熱變形與微觀結(jié)構(gòu)演變。

  2. 模塊化與微型化設(shè)計(jì)

  芯片級(jí)測(cè)試設(shè)備:微型熱流罩支持晶圓級(jí)在線測(cè)試,成本降低。

  可擴(kuò)展架構(gòu):通過更換模塊適配不同溫域與功能(如添加輻射加熱或濕度控制)。

  二、半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

  13D IC封裝熱應(yīng)力測(cè)試

  需求:驗(yàn)證TSV(硅通孔)與混合鍵合結(jié)構(gòu)在-55~150℃循環(huán)下的可靠性。

  方案:熱流儀以80/min速率完成溫度循環(huán),同步監(jiān)測(cè)電阻與形變數(shù)據(jù)。

  2、車規(guī)芯片認(rèn)證

  需求:滿足-40~150℃溫度循環(huán)、濕熱老化等嚴(yán)苛測(cè)試。

  方案:多工位熱流罩并行測(cè)試8個(gè)ECU,溫變速率50/min,濕度精度±2%RH

  3GaN功率器件熱阻優(yōu)化

  需求:降低GaN HEMT器件的結(jié)到外殼熱阻,提升散熱效率。

  方案:熱流儀結(jié)合紅外熱成像,定位熱點(diǎn)并優(yōu)化封裝結(jié)構(gòu)。

  4Chiplet異構(gòu)集成驗(yàn)證

  需求:驗(yàn)證多芯片模塊(MCM)在嚴(yán)苛溫度下的信號(hào)完整性。

  方案:熱流儀在-65~125℃下同步施加高頻信號(hào),監(jiān)測(cè)延時(shí)與誤碼率。

  5、制程芯片(2nm)電遷移測(cè)試

  需求:評(píng)估銅互連線在高溫與高電流密度下的壽命。

  方案:熱流儀以±0.1℃精度控溫,結(jié)合四探針法實(shí)時(shí)測(cè)量電阻漂移。

  高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)其技術(shù)突破與半導(dǎo)體行業(yè)的準(zhǔn)確化、集成化需求深度耦合。冠亞恒溫等企業(yè)正通過持續(xù)創(chuàng)新,為全球客戶提供更準(zhǔn)確的可靠性測(cè)試解決方案。


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